정두현 (주)플롯퍼실리티스 대표가 '반도체 제조용 병렬 구조 무중단 칠러시스템 PNCS'를 소개하고 있다. /김금란기자
㈜플롯퍼실리티스(대표 정두현)는 반도체 장비 개발 및 생산라인을 구축하는 전문업체다.
SK하이닉스에서 14년째 근무 중인 정두현 대표(38)는 2019년 3월 산업현장에서 일하면서 칠러 장치의 기능이 향상돼도 고장율이 줄지 않는 문제점을 개선할 장치 개발 아이디어로 사내벤처사업 공모에 선정됐다.
같은 해 9월 그는 법인을 설립, 분사 창업했다.
충북보건과학대 창업보육센터에 입주한 정 대표는 지난달 창업 1년 만에`반도체 제조용 병렬 구조 무중단 칠러시스템 PNCS'시제품을 완성했다.
칠러란 반도체 식각공정에서 과도한 열의 발생에 의해 반도체 공정이 진행되는 챔버(Chamber·생산장비) 내의 웨이퍼(Wafer·반도체를 만드는 기초가 되는 얇은 원판)나 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정 효율을 개선하는 `온도제어장치'를 말한다.
정 대표가 개발한 모듈형 칠러는 생산 장비를 중단시키지 않고 고장 부문만 교체할 수 있어 생산에 미치는 영향을 최소화할 수 있다.
반도체 공정과정에서 챔버 1대 당 보통 칠러 1개가 설치돼 있다. 문제는 칠러가 고장나면 챔버 가동을 중단시키고 칠러를 통째로 교체해야 한다는 점이다.
칠러장치를 교체하는 시간은 빠르면 4~6시간이 걸린다. 여기에 교체한 칠러가 제대로 작동하는 지 시연하는 시간까지 포함하면 24시간이 소요된다.
칠러 교체와 테스트에 소요되는 24시간동안 생산 장비는 중단하다보니 생산성 저하로 이어졌다. 정 대표가 개발한 모듈형 칠러는 챔버를 중단시키지 않은 상태에서 2~4시간 만에 교체가 가능하다.
정 대표는 “하이닉스에 입사해 14년 간 현장에서 일하면서 느낀 점은 신입사원 때나 10년이 지난 시점이나 칠러가 고장나면 칠러교체를 마칠때까지 생산장비를 작동할 수 없다는 점”이라며 “기술이 발달돼 칠러 장치의 기능이 향상돼도 칠러 고장율이 감소하지 않는 점에 착안해 모듈형 칠러장치를 고안할 수 있었다”고 말했다.
산업 현장에서 쌓은 경력과 아이디어를 살려 정 대표는 지난해`반도체 제조장치'(SK하이닉스 직무발명)로 국내 특허출원을 한 데 이어 올해 7월엔 이 제품을 미국에서도 특허출원했다.
또한 `병렬구조 무중단 칠러시스템'과 `매니폴드의 압력 관리가 가능한 병렬식 칠러 시스템'두 건도 각각 특허출원했고 `병렬구조 무중단 칠러시스템 PNCS'는 상표 출원했다.
정두현 대표는 “모듈러 방식 칠러 장치는 생산장비는 그대로 작동한 상황에서 교체가 가능하고 칠러 교체시간은 2~4시간으로 단축시켜 고장률은 줄돼 생산성은 높일 수 있다”며 “반도체나 2차 전지, 자동차 등 첨단산업설비에 반드시 필요한 칠러장치를 모듈형으로 개발했다는 데 자부심을 느낀다”고 덧붙였다.
㈜플롯퍼실리티스는 지난해 과학기술정보통신부 과학벨트 창업성정지원사업에 선정된 데 이어 올해는 한국발명진흥회 IP나래지원사업 선정, 창업진흥원 초기 창업패키지 선정, 혁신성장유형 벤처기업확인 인정을 받았다.
/김금란기자
silk8015@cctimes.kr
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정두현 (주)플롯퍼실리티스 대표가 '반도체 제조용 병렬 구조 무중단 칠러시스템 PNCS'를 소개하고 있다. /김금란기자
㈜플롯퍼실리티스(대표 정두현)는 반도체 장비 개발 및 생산라인을 구축하는 전문업체다.
SK하이닉스에서 14년째 근무 중인 정두현 대표(38)는 2019년 3월 산업현장에서 일하면서 칠러 장치의 기능이 향상돼도 고장율이 줄지 않는 문제점을 개선할 장치 개발 아이디어로 사내벤처사업 공모에 선정됐다.
같은 해 9월 그는 법인을 설립, 분사 창업했다.
충북보건과학대 창업보육센터에 입주한 정 대표는 지난달 창업 1년 만에`반도체 제조용 병렬 구조 무중단 칠러시스템 PNCS'시제품을 완성했다.
칠러란 반도체 식각공정에서 과도한 열의 발생에 의해 반도체 공정이 진행되는 챔버(Chamber·생산장비) 내의 웨이퍼(Wafer·반도체를 만드는 기초가 되는 얇은 원판)나 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정 효율을 개선하는 `온도제어장치'를 말한다.
정 대표가 개발한 모듈형 칠러는 생산 장비를 중단시키지 않고 고장 부문만 교체할 수 있어 생산에 미치는 영향을 최소화할 수 있다.
반도체 공정과정에서 챔버 1대 당 보통 칠러 1개가 설치돼 있다. 문제는 칠러가 고장나면 챔버 가동을 중단시키고 칠러를 통째로 교체해야 한다는 점이다.
칠러장치를 교체하는 시간은 빠르면 4~6시간이 걸린다. 여기에 교체한 칠러가 제대로 작동하는 지 시연하는 시간까지 포함하면 24시간이 소요된다.
칠러 교체와 테스트에 소요되는 24시간동안 생산 장비는 중단하다보니 생산성 저하로 이어졌다. 정 대표가 개발한 모듈형 칠러는 챔버를 중단시키지 않은 상태에서 2~4시간 만에 교체가 가능하다.
정 대표는 “하이닉스에 입사해 14년 간 현장에서 일하면서 느낀 점은 신입사원 때나 10년이 지난 시점이나 칠러가 고장나면 칠러교체를 마칠때까지 생산장비를 작동할 수 없다는 점”이라며 “기술이 발달돼 칠러 장치의 기능이 향상돼도 칠러 고장율이 감소하지 않는 점에 착안해 모듈형 칠러장치를 고안할 수 있었다”고 말했다.
산업 현장에서 쌓은 경력과 아이디어를 살려 정 대표는 지난해`반도체 제조장치'(SK하이닉스 직무발명)로 국내 특허출원을 한 데 이어 올해 7월엔 이 제품을 미국에서도 특허출원했다.
또한 `병렬구조 무중단 칠러시스템'과 `매니폴드의 압력 관리가 가능한 병렬식 칠러 시스템'두 건도 각각 특허출원했고 `병렬구조 무중단 칠러시스템 PNCS'는 상표 출원했다.
정두현 대표는 “모듈러 방식 칠러 장치는 생산장비는 그대로 작동한 상황에서 교체가 가능하고 칠러 교체시간은 2~4시간으로 단축시켜 고장률은 줄돼 생산성은 높일 수 있다”며 “반도체나 2차 전지, 자동차 등 첨단산업설비에 반드시 필요한 칠러장치를 모듈형으로 개발했다는 데 자부심을 느낀다”고 덧붙였다.
㈜플롯퍼실리티스는 지난해 과학기술정보통신부 과학벨트 창업성정지원사업에 선정된 데 이어 올해는 한국발명진흥회 IP나래지원사업 선정, 창업진흥원 초기 창업패키지 선정, 혁신성장유형 벤처기업확인 인정을 받았다.
/김금란기자
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