제품 개요

* 모델 :  PCP-Series (행복나래 코드 : B3208348)

* 모델 :  PCW-Series

PCP & PCW(Plot Cleaning Pad & Wiper)

민감한 반도체 장비 및 부품의 오염물을 기존의 IPA(이소프로필알콜)와 DI Water (초순수물)보다 효과적으로 제거할 수 있는 우수한 세정력을 제공합니다.

   제품 특징

뛰어난 세정력

• 플로오린(Fluorine, 불소)을 포함한 다양한 오염물을 효과적으로 제거

ESC(Electro Static Chuck) 성능 개선

• ESC 표면의 오염물을 제거하여 Back He Flow를 효율적으로 관리
• Deschuck시 발생할 수 있는 웨이퍼의 튐, 틀어짐 현상을 방지하여 Dynamic Alignment 안정화에 기여
• 세정 중 오염물 비산 억제 효과

외주 세정에 소용되는 비용과 시간을 절감하여 생산성 향상

   제품 효과

*  Etcher  장비 중 에나멜(투명) 형태로 오염물질이 증착된 파츠

*  사용 후 파츠의 오염물 성분 분석 결과(FTIR, 적외선분광법)

                    *  F(불소, Fliuorine)

   제품 종류

PCP Series

• 신축성 좋은 5마이크론 PU 시트
• 촘촘하고 균일한 연마시트와 스폰지 일체형
• 다양한 연마시트 구성으로 사용자 환경에 맞는 최적의 제품을 제공
• PCP-100, PCP-200, PCP-320, PCP-400, PCP-600, PCP-800
• PCP-1000, PCP-1500, PCP-2000, PCP-2500, PCP-3000

PCW Series

• 반도체 장비 Cleaning용 Wiper(Polyester, Nylon 혼용)
• Edge 부분의 손상 및 Lint / Particle 발생 억제
• ESC(정전척) 등 민감한 부품에 적합

세정용액(MSDS) 정보

• PCP / PCW Series 제품은 전기전도도가 낮은 저독성 세정용액 사용
• 제품 개봉 전까지 용액이 세어나오지 않도록 2중 밀봉 처리

   사용방법

* 반도체 제조 장비 PM 중 Etcher 파츠 세정 과정

스폰지에 젖은 세정제를 사용하여 오염물을 화학적으로 분리하며, 연마시트로 문지르기를 반복하면 뛰어난 세정 효과와, 오염물이 흩날리지 않아 청결한 작업환경을 유지합니다.

• 오염물 제거 대상에 제품의 스펀지와 연마시트 문지르기를 반복(화학 반응과 물리적 세정 수행)
• 오염물이 완전히 제거된 후, 깨끗한 Wiper에 DI Water 또는 IPA를 적셔 세정 마무리