PCP & PCW(Plot Cleaning Pad & Wiper)
민감한 반도체 장비 및 부품 오염물을 효과적으로 제거할 수 있는 우수한 세정력의 제품
제품 개요
* 모델 : PCP-Series(행복나래 코드 : B3208348)
* 모델 : PCW-Series
PCP & PCW
(Plot Cleaning Pad & Wiper)
민감한 반도체 장비 및 부품의 오염물을 기존의 IPA(이소프로필알콜)와 DI Water(초순수물)보다 효과적으로 제거할 수 있는 우수한 세정력을 제공합니다.
제품 특징
뛰어난 세정력
ESC(Electro Static Chuck) 성능 개선
외주 세정에 소용되는 비용과 시간을 절감하여 생산성 향상
제품 효과
* Etcher 장비 중 에나멜(투명)형태로 오염물질 증착된 파츠
* 사용 후 파츠의 오염물 성분 분석 결과(FTIR, 적외선분광법)
* F(불소, Fliuorine)
사용 방법
* 반도체 제조 장비 PM 중 Etcher 파츠 세정 과정
스폰지에 젖은 세정제를 사용하여 오염물을 화학적으로 분리하며, 연마시트로 문지르기를 반복하면 뛰어난 세정 효과와, 오염물이 흩날리지 않아 청결한 작업환경을 유지합니다.
상호 : (주)플롯퍼실리티스 l 대표자명 : 정두현
사업자등록번호 : 548-88-02191
대표전화 : 010-9598-6332
E-Mail : plot_info@naver.com
주소 : 충청북도 청주시 청원구 내수읍 덕암길 10,
(충북보건과학대학교) 창업보육센터 2관 생산형 102호
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* 모델 : PCP-Series (행복나래 코드 : B3208348)
민감한 반도체 장비 및 부품의 오염물을 기존의 IPA(이소프로필알콜)와 DI Water (초순수물)보다 효과적으로 제거할 수 있는 우수한 세정력을 제공합니다.
* Etcher 장비 중 에나멜(투명) 형태로 오염물질이 증착된 파츠
제품 종류
PCP Series
PCW Series
세정용액(MSDS) 정보
사용방법
사업자등록번호 : 548-88-02191 l 대표전화 : 010-9598-6332 l E-Mail : plot_info@naver.com
주소 : 충청북도 청주시 청원구 내수읍 덕암길 10, (충북보건과학대학교) 창업보육센터 2관 생산형 102호